半導体、MEMS用ガラス基板

● 半導体・MEMSデバイス試作開発向け各種ガラスウエハー（ガラス基板）
　
　超薄基板　板厚100μm以下　販売中　

●　耐熱ガラスウエハー（ホウ珪酸ガラス基板）

耐熱ガラスウエハー(ホウ珪酸ガラス製）　直径2～8インチ、又は任意の角形 (1cm角、2cm角基板など）
両面研磨基板 / 標準厚さ0.5～0.9mm

B₂O₃やSiO₂を主成分とした耐熱ガラスウエハーを販売しております。これらの耐熱ガラスはホウケイ酸ガラスとも呼ばれ、青板ガラスや白板ガラス（クラウンガラス）製のガラス基板に比べ極め低い熱膨張率を保有するうえに、温度変化による影響をうけにくいガラス基板です。石英ガラス基板と同様に半導体やMEMSデバイスの製造用ガラス基板として、各国の大学や研究機関で多用されています。

薄厚0.1mm以下でも、各種形状の耐熱ガラスウエハーをご提供できます。　お気軽にご相談下さい。

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　関連項目　ガラスウエハーの穴あけ、特殊加工