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合成石英基板(ウエハー） 透過波長範囲(80%以上）：180〜2000nm 標準直径：2インチ基板, 3インチ基板、4インチ基板, 6インチ基板、8インチ基板 / 角形可 標準板厚：0.3mm〜1.0mm（最小0.1mm) 研磨：通常両面 （MIL規格対応） 標準エッジ：両面面とり、台形状 オリフラ：有り/無し Ra：<= 12Å TTV、Bow： < 10μm(サイズによる) 超音波洗浄装置使用 プラスチックケース（25枚入り）発送可 月産数千枚以上の量産製造可 (*)上記データは実績値であり必ずしも契約時の保証値とならない場合がありますので、予め御了承ください。 |
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| ● 合成石英基板について | 一般的に石英基板の材料には合成石英ガラスと溶融石英ガラスがありあます。水晶の粉を溶かして作られるものが通常溶融石英ガラスと呼ばれており、化学的に調合された粉末よりつくられるものが合成石英ガラスと呼ばれています。合成石英ガラスの方が純度は高く基板材料としは適しています。 当社でお勧めする石英基板はこの合成石英基板で、大学や研究所等の小ロット試作品につきましても、10枚からのウエハー製造販売で対応しております。 |
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