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| 基板 (ウェーハ） | チューブ・ロッド | 窓板・レンズ | ポリッシュ・薄膜 |
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| ● 高純度、UVグレード合成石英基板 石英ガラス基板（ウエハー）は製造法によって、合成石英基板、溶融石英基板に区別できますが、純度の高い合成石英基板は幅広い用途に使用できます。精密に研磨された合成石英基板は広範囲での高い透過率と低い熱膨張率を有し、特に他のガラス基板では得られ無い紫外域での高透過率によって、フォトリソグラフィ加工用を始め、光、半導体、MEMSデバイスの分野では様々な応用が期待されています。片面研磨、両面研磨の合成石英基板は最大直径200mm、最小板厚0.1mm程度まで研磨加工できます。その他、各種ガラス製ウエハー も半導体材料レベルの研磨、加工精度で製造販売致します。 |
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 2インチ標準合成石英基板（ウエハー） |
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| 合成石英基板スペック |
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| 主要素材データ |
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| 合成石英基板に関するお問い合わせ、見積り依頼 （上記スペックは代表例です。その他の形状も対応致します。） |
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