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● サファイア基板 MEMS、各種電子デバイスに。 両面エピレディ研磨品も対応可(2インチウエハー) 合成単結晶サファイア基板(ウエハー)は2000℃以上の耐熱性を有し、研磨状態で可視光に透明です。サファイアガラスと呼ばれる事もありますが、実際はガラスではなく結晶であり、耐化学薬品性も優れている為、石英部品に代わって半導体製造装置の窓材等に使われる事もあります。ダイヤモンドに次ぐモース硬度(旧)であることからサファイア基板の研磨は通常のガラス研磨よりも高度な技術を要します。特にLEDやLD関連の製造でGaN等のエピタキシャル成長に使われるサファイア基板では、大口径や薄厚になってくるほど面精度を維持して基板を研磨できるメーカーは少なくなります。現在φ2インチ〜4インチのサファイア基板に加えて、試験研究用10mm角サファイア基板、サファイアチューブやサファイアセル等の特殊な加工部品も販売しています。ポリッシュ・薄膜 |
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2インチ標準サファイア基板(片面研磨ウエハー) | |||||||||||||||||||
a面、c面、m面、r面2インチサファイア基板 (片面 or 両面研磨ウエハー) | |||||||||||||||||||
サファイアチューブ ・ ロッド ・ セル | |||||||||||||||||||
主要素材データ | |||||||||||||||||||
サファイア基板に関するお問い合わせ、見積り依頼 (上記サファイアウエハーの仕様は一例です。その他仕様も多数実績が有りますので、詳細お問い合わせ下さい。) |
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両面エピグレード研磨 φ2インチ x t 0.1mm サファイア基板 販売中 | |||||||||||||||||||
基板 (ウェーハ) | チューブ・ロッド | 窓板・レンズ | ポリッシュ・薄膜 | レーザー加工 |