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| ●LPCVD Si3N4 成膜基板 （販売） 単結晶シリコンウエハー上にLPCVD によるSi3N4膜を成膜を行います。 ベース基板を含めた販売になります。(通常φ4インチ 10枚セット) 膜厚数10〜数100nmまで、ご希望の仕様をご相談ください。 |
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